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重磅!三星宣布3nm成功流片!

摘要:三星宣布,3nm制程技術(shù)已經(jīng)正式流片!

  ICC訊  據外媒最新報道,三星宣布,3nm制程技術(shù)已經(jīng)正式流片!

  據悉,三星3nm制程采用的是GAA架構,性能上完勝臺積電的3nm FinFET架構!

  據報導,三星3nm制程的流片進(jìn)度是與新思科技合作完成的,目的在于加速為GAA 構的生產(chǎn)流程提供高度優(yōu)化的參考方法。而因為三星的3 nm制程采用不同于臺積電或英特爾所采用的 FinFET 的架構,而是采用 GAA 的結構。在此情況下,三星需要新的設計和認證工具,因此采用了新思科技的 Fusion Design Platform。

  三星半導體設計技術(shù)團隊副總裁 Sangyun Kim 表示,三星半導體是推動(dòng)下一階段產(chǎn)業(yè)創(chuàng )新的核心。所以,三星將藉由不斷進(jìn)行的技術(shù)制程發(fā)展,以滿(mǎn)足專(zhuān)業(yè)和廣泛市場(chǎng)應用不斷增長(cháng)的需求。如此,在三星電子最新的、先進(jìn)的 3 奈米 GAA 結構制程技術(shù)上,受惠于與新思科技的廣泛合作,在 Fusion Design Platform 加速準備,以有效達成 3 奈米制程技術(shù)的承諾,證明了這些關(guān)鍵聯(lián)盟的重要性和好處。

  報導指出,所謂的 GAA (Gate-all-around ) 架構,是一個(gè)周邊環(huán)繞著(zhù) Gate 的 FinFET 架構。依照專(zhuān)家的觀(guān)點(diǎn),GAA 架構的晶體管能夠提供比 FinFET 更好的靜電特性,可滿(mǎn)足某些柵極寬度的需求。而這主要表現在同等尺寸結構下,GAA 的溝道控制能力得以強化,藉此給予尺寸進(jìn)一步微縮提供了可能性。相較傳統 FinFET 的溝道僅 3 面被柵極包覆,GAA 若以奈米線(xiàn)溝道設計為例,溝道的整個(gè)外輪廓都被柵極完全包裹住,這就代表著(zhù)柵極對溝道的控制性能就更好。

  據了解,3 奈米 GAA 制程技術(shù)有兩種架構分類(lèi),也就是 3GAAE 和 3GAAP。這是兩款以奈米片的結構設計,在鰭中具有多個(gè)橫向帶狀線(xiàn)。這種奈米片設計已被研究機構 IMEC 作為 FinFET 架構后續的產(chǎn)品進(jìn)行了大量研究,并由 IBM 與三星和格羅方德合作進(jìn)行了技術(shù)發(fā)展。

  三星指出,這種技術(shù)具被高度可制造性。原因是它利用了該公司現有的約 90% 的 FinFET 制造技術(shù)予設備,而只需要少量修改過(guò)的光罩即可。另外,該制程技術(shù)具有出色的柵極可控性,這比三星原本采用的 FinFET 技術(shù)高 31%,且因為奈米片信道寬度可通過(guò)直接圖像化來(lái)改變,這就給設計提供了靈活性。

內容來(lái)自:中國半導體論壇
本文地址:http://joq5k4q.cn//Site/CN/News/2021/06/30/20210630012958844560.htm 轉載請保留文章出處
關(guān)鍵字: 三星 3nm 流片
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