基于OCI系統的片上微環(huán)器件表征

  ICC訊 片上微環(huán)諧振腔的損耗特征關(guān)系到整個(gè)器件的光學(xué)性能，傳統的透射表征方法容易受到片上其他器件的干擾，當測量超高Q值的微環(huán)時(shí)，光譜儀分辨率不足將會(huì )嚴重影響測量結果的準確性。使用OCI1500系統，通過(guò)背向表征方法，可準確、方便地提取微環(huán)的傳播損耗和自由光譜范圍等特征。

  測試過(guò)程

  微環(huán)的尺寸較小，但是由于損耗較低，光會(huì )在微環(huán)的內部環(huán)繞傳播很長(cháng)的時(shí)間，通過(guò)探測傳播過(guò)程中每個(gè)位置處的回波信號，我們可以提取環(huán)內的損耗性質(zhì)。測試原理如圖1所示。我們表征的微環(huán)是一個(gè)Ge摻雜型的二氧化硅微環(huán)，半徑為1600μm，芯區的折射率為1.48，包層折射率為1.44左右，微環(huán)的界面尺寸為4μm*4μm。

  首先，我們將OCI1500系統接入微環(huán)器件，設置掃描的波長(cháng)范圍與微環(huán)的工作波長(cháng)范圍重合，然后進(jìn)行約80nm掃頻范圍的測試。

  由于這個(gè)范圍內包括了很多個(gè)諧振頻率，所以我們可以在OCI系統上，選取距離域信號進(jìn)行iFFT變換，從而得出微環(huán)的頻率響應。

  通過(guò)測量相鄰兩個(gè)諧振峰的波長(cháng)間隔，我們可以得到微環(huán)的自由光譜范圍。最后，我們通過(guò)擬合光傳播信號曲線(xiàn)，得出微環(huán)的損耗值。

 測試結果

  第一次寬譜掃描的結果如圖2所示?？梢钥闯?，雖然微環(huán)腔的環(huán)波導周長(cháng)不到1cm，整個(gè)芯片從頭至尾的長(cháng)度也只有約1.5cm，但是我們在距離域上測得了將近2m的傳播路徑，這就是耦合入微腔的諧振光，在微腔內進(jìn)行環(huán)繞傳播的距離。

  從OCI系統耦合入微腔的光，其相對的信號強度從約-100dB衰減至-130dB，最終在約6.5m的距離處，淹沒(méi)于OCI系統的本底噪聲之中。

  圖2. 微環(huán)內的距離域傳播特征

  利用OCI系統的頻域表征模塊，我們得到了環(huán)內傳播的諧振光距離域信息，也就是從4.5m到約6.5m的區域，由于我們的掃頻范圍包括了微腔的很多諧振頻率，所以這一段曲線(xiàn)實(shí)際上是所有諧振光貢獻的總和。

  根據光頻域反射原理，選取距離域上的任意一段路徑，對這段曲線(xiàn)進(jìn)行反傅里葉變換(iFFT)算法處理，得出此段路徑的OFDR頻率響應，結果如圖3所示。

  圖3. 微環(huán)的頻率響應

  最后，對諧振腔的距離域譜線(xiàn)進(jìn)行了擬合測量。為了驗證該表征技術(shù)的準確性，我們還制備了3個(gè)耦合長(cháng)度(L)不同的微環(huán)，分別被命名為微環(huán)A(L=600μm)、微環(huán)B(L=400μm)和微環(huán)C(L=200μm)，它們的傳播損耗測量結果如圖4所示。

  圖4. 三種耦合長(cháng)度微腔的距離域傳播特征

  通過(guò)曲線(xiàn)分析，可以求出它們的損耗值分別為-7.8dB/m、-7.0dB/m和-5.1dB/m。反映了隨著(zhù)耦合長(cháng)度的減小，微環(huán)與耦合直波導的耦合強度會(huì )相應地減小，使得光在微環(huán)中每繞一周的傳播損耗降低。

  實(shí)驗結論

  利用OCI系統表征微環(huán)器件，可以方便地獲得光在微環(huán)中的距離域傳播曲線(xiàn)，通過(guò)譜線(xiàn)分析，可以準確地提取微環(huán)的頻率響應和傳播損耗特征。該技術(shù)還可以推廣到其他各類(lèi)光學(xué)微腔的表征實(shí)驗中，特別是超高Q值微腔的表征。理論上Q值越高，OCI系統距離域的采集點(diǎn)會(huì )越多，測量反而會(huì )更容易，說(shuō)明該系統具有較高的應用前景和推廣價(jià)值。