芯光學(xué)院-集成電路先進(jìn)光刻技術(shù)與版圖設計優(yōu)化名家講堂

ICCSZ訊  芯光學(xué)院，是先導院成立的培訓業(yè)務(wù)品牌，面向全國微電子和光電行業(yè)領(lǐng)域進(jìn)行人才培養，致力于為國家核心技術(shù)行業(yè)提供源源不斷的人才儲備。我們的目標，是打造西北地區實(shí)訓基地，讓更多進(jìn)入這個(gè)行業(yè)的新人能夠在培訓中提升實(shí)操技能。我們擁有近200名國內外專(zhuān)家智庫團隊，與國內外專(zhuān)業(yè)平臺聯(lián)合辦學(xué)，充分有效了解行業(yè)最新技術(shù)，提升行業(yè)認知，可以為學(xué)員提供精準和專(zhuān)業(yè)的輔導，打通職場(chǎng)晉升之路。

活動(dòng)主題
名家講堂-集成電路先進(jìn)光刻技術(shù)與版圖設計優(yōu)化
主辦單位
工業(yè)和信息化部人才交流中心（MIITEC）
陜西光電子集成電路先導技術(shù)研究院
承辦單位
IC智慧谷
時(shí)間地點(diǎn)
時(shí)間：2018年10月10日-11日（周三-周四）
地點(diǎn)：陜西光電子集成電路先導技術(shù)研究院（陜西省西安市畢原一路）
支持媒體
訊石光通訊網(wǎng)、光纖在線(xiàn)、芯師爺、芯司機、芯通社、芯智訊、芯片超人、半導體行業(yè)觀(guān)察、半導體行業(yè)聯(lián)盟、光刻人的世界、IC咖啡、芯榜、半導體圈、中國半導體論壇、EETOP、矽說(shuō)等。

專(zhuān)家介紹

中組部第八批“千人計劃”入選者，中國科學(xué)院微電子研究所研究員，博士生導師；1998年畢業(yè)于德國Stuttgart大學(xué)/馬普固體研究所，獲博士學(xué)位，師從諾貝爾物理獎獲得者Klaus von Klitzing；先后在美國能源部橡樹(shù)嶺國家實(shí)驗室、美國英飛凌公司紐約研發(fā)中心、美國格羅方德公司紐約研發(fā)中心工作；由于在193nm浸沒(méi)式光刻技術(shù)上的開(kāi)創(chuàng )性貢獻，于2009年受SPIE邀請出版專(zhuān)著(zhù)“Advanced processes for 193nmimmersion lithography”，該書(shū)已被美國多所高校和研究機構作為研究生的教材和主要參考書(shū)；發(fā)表了70篇的專(zhuān)業(yè)文獻并持有多項美國專(zhuān)利。
韋亞一博士長(cháng)期從事半導體光刻領(lǐng)域設備、材料和制程研發(fā)，先后參與或主持了從180nm一直到10nm節點(diǎn)的光刻工藝研發(fā)，具有豐富的先進(jìn)光刻研發(fā)經(jīng)驗，取得了多項核心技術(shù)。
2013年7月回國工作，首先作為項目首席科學(xué)家主持了國家02重大專(zhuān)項“300mm晶圓勻膠顯影設備和光刻工藝研發(fā)”（沈陽(yáng)芯源微電子設備有限公司）；在中科院微電子所建立了計算光刻課題組，從事20nm以下技術(shù)節點(diǎn)的光源-掩模協(xié)同優(yōu)化（SMO）和光學(xué)鄰近效應修正（OPC）研究；韋亞一的研究成果被廣泛應用于國內FinFET和3D NAND的量產(chǎn)工藝中；2016年7月在科學(xué)出版社出版了“超大規模集成電路的先進(jìn)光刻理論與應用”一書(shū)；2017年3月計算光刻課題組升格為計算光刻研發(fā)中心，并被北京市授予中關(guān)村開(kāi)放實(shí)驗室，韋亞一博士任中心和開(kāi)放實(shí)驗室主任。
1.光刻技術(shù)相關(guān)設備及材料概
1.1光刻技術(shù)概述
1.2光刻技術(shù)相關(guān)設備
1.3光刻技術(shù)相關(guān)材料
1.4光刻工藝的設定與監控
2.計算光刻
2.1光刻成像模型概述
2.2傳統的分辨率增強技術(shù)
2.3光源-掩模聯(lián)合優(yōu)化技術(shù)
2.4光學(xué)鄰近效應修正技術(shù)
3.設計與工藝聯(lián)合優(yōu)化（DTCO）技術(shù)
3.1DTCO 的概念和分類(lèi)
3.2基于先進(jìn)光刻技術(shù)的DTCO 與基于壞點(diǎn)處理的DTCO
3.3完整的DTCO 流程及在工業(yè)中的應用
1.請使用微信掃描下方二維碼，在線(xiàn)報名： 2.郵件報名
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回執表文件名及郵件標題格式為：“報名+第77期+單位名稱(chēng)+人數?！?nbsp;
1. 注冊費：3800元（2天）
注：費用含授課費、場(chǎng)地費、資料費、活動(dòng)期間餐飲，不含學(xué)員交通、住宿等費用（學(xué)員自理）。
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2. 芯動(dòng)力合作單位學(xué)員、中科創(chuàng )星投資服務(wù)企業(yè)：3300元
在線(xiàn)報名請選擇“合作單位學(xué)員注冊”通道
3.付款與開(kāi)票
國信芯世紀南京信息科技有限公司為本期名家講堂開(kāi)具發(fā)票，發(fā)票內容為培訓費。請于2018年10月10日前將注冊費匯至以下賬戶(hù)，并在匯款備注中注明款項信息（第77期+單位+參會(huì )人姓名）。
4.付款信息
戶(hù)  名：國信芯世紀南京信息科技有限公司
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報名截止日期：2018年10月9日12：00
活動(dòng)具體咨詢(xún)：
張志軍18009256681（微信同號）