基于MEMS焦平面開(kāi)關(guān)陣列的硅光子激光雷達

  3D傳感技術(shù)可以幫助機器感知世界、繪制地圖并實(shí)現與周?chē)h(huán)境的互動(dòng)。但機械式激光雷達（LiDAR）的尺寸縮小通常會(huì )受到機械式掃描儀的阻礙?；诮蛊矫骈_(kāi)關(guān)陣列（FPSA）的3D傳感器是固態(tài)激光雷達的希望之星，這是由于它們無(wú)需機械運動(dòng)部件便能實(shí)現電子掃描。然而，目前基于FPSA的3D傳感器分辨率常被限制在512像素甚至更低。

  近年來(lái)，研發(fā)人員針對在寬視場(chǎng)角（FoV）中實(shí)現高速運行、高分辨率以及低功耗的集成光束掃描儀進(jìn)行了深入的研究，這些特點(diǎn)是固態(tài)激光雷達的關(guān)鍵要求。光學(xué)相控陣（OPA）和焦平面開(kāi)關(guān)陣列（FPSA）是固態(tài)激光雷達的兩種常見(jiàn)光束操縱技術(shù)。

  FPSA使用了類(lèi)似可見(jiàn)光相機的光學(xué)系統，將視場(chǎng)角內的每個(gè)角度逐一映射到成像透鏡后焦平面開(kāi)關(guān)陣列上的像素單元。FPSA中的光開(kāi)關(guān)網(wǎng)絡(luò )并非在每個(gè)像素單元處整合測距單元。而是允許所有像素單元共享同一個(gè)（或多個(gè)）激光雷達測距單元，每個(gè)像素單元僅由一個(gè)光學(xué)天線(xiàn)和一個(gè)開(kāi)關(guān)組成，這使得在單芯片上集成大陣列成為可能。

  據麥姆斯咨詢(xún)報道，美國加利福尼亞大學(xué)伯克利分校（University of California，Berkeley）電氣工程和計算機科學(xué)系教授、伯克利傳感器和執行器中心聯(lián)合主任Ming C. Wu研究團隊在Nature期刊上發(fā)表了以“A large-scale microelectromechanical-systems-based silicon photonics LiDAR”為主題的研究論文。

  這項研究采用搭載了單片集成128 × 128像素MEMS FPSA（引線(xiàn)鍵合128 × 96子陣列，并經(jīng)過(guò)了實(shí)驗測試）的硅光子調頻連續波（FMCW）成像激光雷達，最終分辨率達到16384像素。該系統采用5mm焦距的復合透鏡，可以在70°×70°視場(chǎng)角內、以0.05°發(fā)散角和微秒級切換時(shí)間，將激光束隨機定向到16384個(gè)不同的方向。這是迄今為止所報道的最大陣列的單片集成MEMS FPSA。將FPSA光操縱技術(shù)與FMCW測距方法相結合，可實(shí)現更清晰的3D成像與傳感。這項研究中的FPSA具有高度可擴展性。在過(guò)去幾十年中，摩爾定律推動(dòng)了CMOS圖像傳感器的爆發(fā)式增長(cháng)，類(lèi)似摩爾定律的擴展也使百萬(wàn)像素3D成像激光雷達變成可能。

FPSA架構和工作原理

  將FPSA與調頻激光器和相干接收器相結合，構成了該研究中的成像激光雷達。該研究中FMCW測距系統的組件為片外連接，但其也可以集成在片上。采用迭代學(xué)習法獲得預失真波形，利用直接調制型1550nm波長(cháng)分布式反饋（DFB）激光器產(chǎn)生了偏移量8.6GHz、斜坡時(shí)間80 μs的線(xiàn)性頻率啁啾。從目標對象返回的光與光電探測器處的參考光相混合。然后，利用傅里葉變換提取出與目標距離成比例的拍頻。這項研究中主要采用單站配置，其中FPSA上使用了相同的光柵天線(xiàn)，主要用于發(fā)射FMCW調制光并接收來(lái)自目標對象的反射光。

這項研究開(kāi)發(fā)出的激光雷達的3D成像效果

  為了進(jìn)一步提高激光雷達的分辨率，可以通過(guò)增加芯片尺寸、縮小像素占位尺寸等方式實(shí)現。通過(guò)優(yōu)化MEMS執行器和開(kāi)關(guān)耦合器的設計，可以縮小當前像素的占位尺寸。FPSA的一個(gè)顯著(zhù)特點(diǎn)是，與馬赫-曾德?tīng)柛缮鎯x（MZI）型熱光開(kāi)關(guān)不同，MEMS開(kāi)關(guān)在OFF狀態(tài)下的損耗幾乎為零（其中唯一的損耗是波導傳播損耗）。MEMS光開(kāi)關(guān)是光通信網(wǎng)絡(luò )中的常用技術(shù)，但這是該技術(shù)首次被應用于激光雷達；與熱光開(kāi)關(guān)相比，MEMS光開(kāi)關(guān)體積較小、功耗低、開(kāi)關(guān)快且光損耗非常低。這使得在高密度FPSA中保持低的光插入損耗成為可能。FPSA采用標準半導體制造工藝，可在商用CMOS代工廠(chǎng)實(shí)現量產(chǎn)。

  FPSA激光雷達的另一項獨特優(yōu)勢是其靈活性。視場(chǎng)角和角度分辨率可以通過(guò)選擇不同焦距的成像透鏡輕松調整，進(jìn)而可以充分利用為各種各樣焦距和CMOS圖像傳感器尺寸而設計和優(yōu)化的相機鏡頭。例如，智能手機的相機鏡頭適用于小型FPSA芯片，以達到小尺寸和大視場(chǎng)角；而為專(zhuān)業(yè)相機設計的鏡頭則適用于大型FPSA芯片，以實(shí)現低發(fā)散和高角度分辨率；魚(yú)眼鏡頭還可實(shí)現全180°甚至更大的視場(chǎng)角。

  論文鏈接：https://www.nature.com/articles/s41586-022-04415-8