軍備競賽！三星敦促ASML提前交付9臺EUV！

  ICC訊  據韓媒報道，三星副董事長(cháng)李在镕在訪(fǎng)問(wèn)荷蘭期間，在會(huì )議上要求ASML在一個(gè)月內交付三星已購買(mǎi)的9臺EUV光刻設備。

  報道稱(chēng)，ASML正在審查三星的要求，這部分EUV設備最早可于11月運往韓國。

  據悉，三星需要EUV光刻設備來(lái)追趕已經(jīng)實(shí)現5nm量產(chǎn)的臺積電。ASML是世界上唯一的EUV設備供應商，三星打算在正在建設的平澤2號工廠(chǎng)和正在擴建的華城V1線(xiàn)中安裝EUV設備。

  其中，平澤2號工廠(chǎng)于2020年5月開(kāi)始了新工藝線(xiàn)的建設，計劃投資約10萬(wàn)億韓元(約合88億美元)，于2021年下半年開(kāi)始全面運營(yíng)。華城工廠(chǎng)的V1生產(chǎn)線(xiàn)于2019年投入運營(yíng)，專(zhuān)門(mén)用于EUV工藝。目前用于批量生產(chǎn)7nm芯片，并且正在擴展用于5nm及以下工藝。三星計劃到2020年底將V1線(xiàn)的晶圓產(chǎn)能提升至約20,000片。

  目前來(lái)看，獲得EUV和進(jìn)行工藝風(fēng)險試產(chǎn)是三星最緊迫的任務(wù)。如果EUV設備被延遲，則5nm時(shí)代三星仍將丟失一部分訂單。

  目前，三星電子已獲得10臺EUV設備，并在2020年初購買(mǎi)了約20臺。而臺積電目前線(xiàn)上運營(yíng)的EUV達20臺以上，并宣布到2022年前將再購買(mǎi)60臺EUV設備。

  本文轉載自：中國半導體論壇