中科院微電子所研制出新型縱向多腔耦合VCSEL

  垂直腔面發(fā)射激光器（VCSELs）具有體積小、閾值電流低、波長(cháng)隨溫度穩定、圓形光束和高可靠性等優(yōu)點(diǎn)，是原子鐘、原子磁力儀、原子陀螺儀等核心光源。但傳統VCSEL的光譜線(xiàn)寬較寬，一般為50-100 MHz，無(wú)法與自然原子線(xiàn)寬（銫為5 MHz）匹配，限制了原子傳感系統性能的進(jìn)一步提升。

  近日，中國科學(xué)院微電子研究所吳德馨院士團隊提出了一種新型的縱向多腔耦合VCSEL。與傳統VCSEL相比，新型多腔耦合VCSEL具有更長(cháng)的有效腔長(cháng)和光子壽命。其諧振腔由一個(gè)有源腔和兩個(gè)無(wú)源腔組成，當光子進(jìn)入無(wú)源諧振腔時(shí)，會(huì )產(chǎn)生快速相移，在腔內經(jīng)過(guò)多個(gè)循環(huán)周期后最終透射出去，大大增加了光子壽命，從而壓縮了光譜線(xiàn)寬。由于高階模式相較于基模在擴展腔中具有更高的衍射損耗，即使在較大電流和氧化孔徑下，仍可支持單模激射，提高單模輸出功率。該795nmVCSEL實(shí)現了光譜線(xiàn)寬7.3MHz、單模功率4.6mW（25℃下）以及偏振抑制比27dB等高性能，可在下一代原子傳感系統中發(fā)揮重要作用。

  該工作得到了北京市科技新星計劃、國家自然科學(xué)基金的支持。研究成果以“Longitudinal Multi-Cavity Coupled VCSELs With Narrow Linewidth and High Single Mode Power for Quantum Sensing”為題發(fā)表在光通信領(lǐng)域頂級期刊《Journal of Lightwave Technology 》上。中國科學(xué)院微電子研究所荀孟青年研究員為論文第一作者，潘冠中青年研究員為通訊作者。

  論文鏈接：https://ieeexplore.ieee.org/document/10535524

圖 1 新型VCSEL的結構示意圖和不同溫度下的光功率曲線(xiàn)

圖 2 測量的VCSEL的光譜線(xiàn)寬