中科光芯宣布對外提供外延片生長(cháng)服務(wù)

  ICC訊 近日，高速率激光器芯片技術(shù)提供商福建中科光芯宣布對外提供外延生長(cháng)服務(wù)，以滿(mǎn)足家庭寬帶、電信、數據通信、光學(xué)傳感、激光雷達等領(lǐng)域對光芯片不斷增長(cháng)的需求。

  外延片是光芯片核心工藝，直接影響激光器和探測器的性能和可靠性。中科光芯外延生長(cháng)材料覆蓋了常見(jiàn)的III-V族材料銦、鋁、鎵和砷、磷，摻雜源包括了二乙基鋅、二甲基鋅、四溴化碳、乙硅烷等，摻雜濃度介于7E14 ~ 4E19之間可調，產(chǎn)品可以發(fā)射860~2100nm之間的激光。

  中科光芯是國內最早一批從事激光器芯片設計生產(chǎn)的廠(chǎng)家，具有10多年的激光器芯片外延生長(cháng)經(jīng)驗，每年激光器發(fā)貨5000多萬(wàn)只，是全球主要的PON激光器供應商。2022年，中科光芯增加了4臺全新MOCVD設備并部署在中科石獅工廠(chǎng)，設備順利通過(guò)試產(chǎn)驗證并進(jìn)入了量產(chǎn)階段。新MOCVD設備每次可以裝載12片4英寸晶圓，再加上原有的2臺，中科光芯總共擁有了6臺MOCVD設備，使得激光器芯片產(chǎn)能達到了1.8億片/年，產(chǎn)能完全滿(mǎn)足自己的激光器芯片生產(chǎn)需求的同時(shí)，還能支持外部科研院所和通信、傳感企業(yè)的需求。

  對比其他公司，中科光芯同時(shí)擁有CCS（Closed Coupled Showerhead）MOCVD和G4式MOCVD，適用于客戶(hù)的科研試制、定制設計和批量生產(chǎn)。CCS系統Showerhead至Wafer表面僅11~14 mm，便于精準控制氣體參量；同時(shí)該系統多為石英部件，對于雜質(zhì)較好管控。G4式又被稱(chēng)為Planetary系統，大盤(pán)和小盤(pán)均快速旋轉，生長(cháng)出來(lái)的wafer的一致性較好；同時(shí)G4系統部件多為石墨材料，對于壓低腔內particle數量很有幫助。

  此外，為了精準監控外延生長(cháng)過(guò)程和檢測外延片的質(zhì)量，中科光芯配置了完備的儀器設備。對于一些重要參數，公司配備了兩套設備，互相交叉驗證，確保萬(wàn)無(wú)一失。

  中科光芯砥礪前行11載，愿意與行業(yè)友人分享所悟所得；不忘初“芯”，愿與廣大朋友攜手前行，共同推動(dòng)祖國芯片事業(yè)進(jìn)步！

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