中科院物理所發(fā)布拓撲腔面發(fā)射激光器（TCSEL）

  半導體激光器體積最小、效率最高、波長(cháng)最廣，價(jià)格最低，是各類(lèi)應用場(chǎng)景之首選，但出射功率低和光束質(zhì)量差是其最大的瓶頸，難點(diǎn)更在于這兩個(gè)指標一般無(wú)法同時(shí)提高：雖然增大器件尺寸可以提高激光功率，但是大器件中的多模激射會(huì )降低光束質(zhì)量。之前，中國科學(xué)院物理研究所/北京凝聚態(tài)物理國家研究中心光物理重點(diǎn)實(shí)驗室L01組陸凌團隊，提出了一種“狄拉克渦旋”拓撲光腔，是已知大面積單模性最好的光腔設計，可以從原理上突破現有瓶頸，同時(shí)提高出射功率和光束質(zhì)量。

  最近，他們將原創(chuàng )的拓撲光腔應用于面發(fā)射半導體激光器中，研制出了拓撲腔面發(fā)射激光器（topological-cavity surface-emitting laser: TCSEL）， 得到了遠超同類(lèi)商用產(chǎn)品的指標和性能（見(jiàn)圖一中的比較）。在1550nm這一最重要的通信和人眼安全波段，同時(shí)實(shí)現了單個(gè)器件10W峰值功率、小于1°的遠場(chǎng)發(fā)散角、60dB邊模抑制比，和二維多波長(cháng)陣列的集成能力。相關(guān)研究成果以“Topological-cavity surface-emitting laser”為題于2022年03月18日在線(xiàn)發(fā)表在Nature Photonics雜志網(wǎng)站上，TCSEL的發(fā)明對于人臉識別、自動(dòng)駕駛、虛擬現實(shí)所需的三維感知和激光雷達等新興技術(shù)有重要意義。

圖1. TCSEL與現有商用單模激光器的對比：一維中，邊發(fā)射的相移分布反饋激光器(DFB)和垂直腔面發(fā)射激光器(VCSEL)均采用帶間模式穩定激射； 

 在二維中，拓撲光腔面發(fā)射激光器(TCSEL)可以大面積單模工作，與一維相比可以提供更高的發(fā)射功率，更窄的光束發(fā)散角，和多波長(cháng)二維陣列等優(yōu)勢。

  通過(guò)分析主流單模半導體激光器的設計我們發(fā)現（圖一），用于互聯(lián)網(wǎng)通信的分布式反饋邊發(fā)射激光器（distributed Feedback: DFB）和用于手機人臉識別的垂直腔面發(fā)射激光器（vertical-cavity surface-emitting lasers: VCSEL），在其最優(yōu)化的諧振腔設計中均采用了一維周期結構中帶間拓撲缺陷模式來(lái)實(shí)現穩定單模工作。而TCSEL正是延續和推廣了這樣的成功路線(xiàn)，實(shí)現了與半導體芯片平面工藝最匹配的二維版本。

圖2. TCSEL性能：左側圖為激光器輸入輸出的功率，插圖為激光器的遠場(chǎng)照片、顯微鏡圖、掃描電子顯微鏡圖；右側圖為多波長(cháng)陣列特性。

  大面積單模是TCSEL的一個(gè)獨特優(yōu)勢， 這同時(shí)提高了出射功率和光束質(zhì)量：面發(fā)射峰值功率大于10 W，光束發(fā)散角小于1°（圖2左）。相比之下，商用DFB的輸出一般為數十mW的量級，單個(gè)VCSEL的輸出為幾mW，面發(fā)射的典型發(fā)散角為20°，邊發(fā)射器件的光束質(zhì)量通常更差。圖2左插圖為直徑500μm器件的顯微鏡照片和掃描電子顯微鏡照片，可以清楚的看到器件標志性的渦旋結構，TCSEL的遠場(chǎng)為徑向偏振分布的矢量光束。TCSEL的高功率和低發(fā)散角優(yōu)勢可以增加三維傳感的距離，減少光學(xué)系統的尺寸、復雜性和成本。

  波長(cháng)靈活性是TCSEL的另一個(gè)獨特優(yōu)勢，比如可以實(shí)現二維多波長(cháng)面陣。VCSEL的垂直腔是在外延生長(cháng)過(guò)程中形成的，不但激光波長(cháng)受到材料生長(cháng)的嚴重制約，而且其陣列在同片晶元上缺乏波長(cháng)可調性。而DFB雖然可以調節波長(cháng)，但是由于邊發(fā)射的裂片制造工藝約束，只能實(shí)現一維多波長(cháng)整列。相比之下，TCSEL的波長(cháng)可以在平面加工過(guò)程中任意調節，圖2（右）中通過(guò)改變晶格常數，相應的激光波長(cháng)從1512nm到1616nm線(xiàn)性變化，二維陣列都穩定單模工作，邊模抑制比均大于50dB。這種多波長(cháng)TCSEL二維陣列可以潛在地提高波分復用技術(shù)的功率、帶寬和集成度，可以應用于高容量信號傳輸和多光譜激光傳感等眾多應用領(lǐng)域。

  拓撲物理自量子霍爾效應發(fā)現以來(lái)一直是基礎研究領(lǐng)域的焦點(diǎn)，獲得了多個(gè)諾貝爾物理獎（1985，1998，2016）。雖然拓撲魯棒性在理論上可以顯著(zhù)提高器件的穩定性和指標，但至今還沒(méi)有明確的應用出口，TCSEL的發(fā)明有望解決拓撲物理應用的長(cháng)期瓶頸。

  論文的共同第一作者為中科院物理所博士生楊樂(lè )臣和博士后李廣睿，第三作者為博士后高曉梅，通訊作者為陸凌研究員，TCSEL的器件制備在物理所微加工實(shí)驗室完成。該研究工作得到了中國科學(xué)院、科技部、國家自然科學(xué)基金委、和北京市自然科學(xué)基金委的資助。

  論文鏈接： Topological-cavity surface-emitting laser.pdf