AIXTRON推出全新Micro LED量產(chǎn)設備

  1月26日，AIXTRON SE發(fā)布新聞稿，宣布向市場(chǎng)推出首款全自動(dòng)AsP平臺——G10-AsP。新系統滿(mǎn)足了Micro LED和激光設備領(lǐng)域不斷增長(cháng)的需求。作為業(yè)內首個(gè)系統，G10-AsP可實(shí)現穩健的大批量生產(chǎn)，滿(mǎn)足非常高且復雜的要求。

  AIXTRON SE首席執行官兼總裁Felix Grawert博士表示：“Micro LED將徹底改變顯示器世界，因為它們具有更好的耐用性、更長(cháng)的使用壽命、更好的圖像質(zhì)量和極低的能耗。然而，這項創(chuàng )新技術(shù)對生產(chǎn)過(guò)程提出了挑戰，因為它需要最低的缺陷水平和最高的均勻率。我們全新的G10-AsP提供了業(yè)界首個(gè)全自動(dòng)流程，為所有這一切提供了答案。新系統實(shí)現了同類(lèi)產(chǎn)品中最高的吞吐量，具有前所未有的均勻性和缺陷水平?！?

  具有最嚴格材料要求且芯片尺寸≤10微米的Micro LED真正量產(chǎn)首次成為現實(shí)。此外，G10-AsP還滿(mǎn)足大批量生產(chǎn)InP(磷化銦)激光器和VCSEL(垂直腔面發(fā)射激光器)的復雜要求。

  新平臺G10-AsP將于2023年2月1日在美國舊金山的Photonic West展會(huì )期間正式推出。在這次活動(dòng)中，AIXTRON的專(zhuān)家將展示新系統：他們將解釋新平臺中包含的所有創(chuàng )新，以及它將如何提供同類(lèi)產(chǎn)品中最高的吞吐量并最大限度地提高潔凈室利用率。

  新型全自動(dòng)G10-AsP是投放市場(chǎng)的最大的200mm AsP間歇式反應器，配備原位清潔和自動(dòng)卡匣式 (C2C) 晶圓傳輸技術(shù)。前端首次可以配備SMIF(標準機械接口)吊艙，以進(jìn)一步減少外延晶圓在室內環(huán)境的暴露。借助內置的原位清潔功能，用戶(hù)可以根據需要重新設置腔室條件——無(wú)論是在滿(mǎn)足最苛刻要求的每個(gè)工藝運行之后，還是在受益于最高吞吐量的生產(chǎn)活動(dòng)之后。該平臺基于成功的Planetary Reactor(行星式反應器)®技術(shù)，這項技術(shù)將多晶圓間歇式反應器概念與單晶圓旋轉相結合，以確保最高的晶圓均勻性。

  Micro LED不僅將用于下一代電視顯示器，還將用于未來(lái)的智能手表、智能手機、增強現實(shí) (AR) 投影或汽車(chē)顯示器。分析人士預計，該領(lǐng)域將在未來(lái)五到十年內成為L(cháng)ED最大的市場(chǎng)。

  要使先進(jìn)的Micro LED以及InP和VCSEL應用達到更高水平的一大挑戰仍然是均勻性：必須在大批量生產(chǎn)過(guò)程中實(shí)現優(yōu)化的片內均勻性和片間均勻性。新的G10-AsP為這些值設定了新標準，與前代產(chǎn)品相比性能提高了兩到三倍。因此，該全自動(dòng)平臺將開(kāi)啟生產(chǎn)Micro LED和光子器件的新時(shí)代，克服以前阻礙大規模生產(chǎn)的主要障礙。

  紅外激光器和探測器等光子器件已在市場(chǎng)上得到廣泛采用。在電信領(lǐng)域，它們?yōu)楣芾聿粩嘣鲩L(cháng)的數據量奠定了基礎，而這些數據量與不斷提高的帶寬要求相關(guān)聯(lián)。此外，它們還支持3D傳感(例如用于面部識別)和用于自動(dòng)駕駛的先進(jìn)技術(shù)：隨著(zhù)這項技術(shù)的不斷發(fā)展，光束必須映射更大更廣的區域。這需要更嚴格的波長(cháng)公差，這轉化為對外延層沉積非常嚴格的要求。新的G10-AsP可以通過(guò)提供外延工藝的顯著(zhù)精細控制來(lái)滿(mǎn)足這一需求，提高材料精度，減少缺陷，從而提高產(chǎn)量和達到更好的均勻性。

  在Micro LED的生產(chǎn)中，提高均勻性是經(jīng)濟可行的大規模生產(chǎn)的先決條件：Micro LED顯示器依賴(lài)于特殊的印章或矩陣轉移工藝，其中數千個(gè)尺寸僅為幾微米的LED芯片(陣列)被拾取并轉移。由于整個(gè)像素陣列都是從外延晶圓基板轉移而來(lái)的，因此需要幾乎完美的均勻性——可以料想，沒(méi)人會(huì )買(mǎi)顯示屏一角顏色與另一角不同的智能手表或智能手機。