流片計劃公布 | 中科微光子：為國內外硅光用戶(hù)提供一站式技術(shù)支持

  ICC訊 中科院微電子所基于8英寸CMOS工藝線(xiàn)開(kāi)發(fā)了國內首個(gè)具有完整硅光工藝流片能力的硅光平臺。近日，中科微光子科技(成都)有限公司公布其2022年下半年及2023年基于厚硅SOI、 石英襯底、 SiN材料等技術(shù)的流片計劃。

  中科微光子科技(成都)有限公司主要基于中科院微電子所硅光平臺開(kāi)展硅基光子集成芯片的制備和測試服務(wù)， 以及硅光IP的合作開(kāi)發(fā)與運營(yíng)，廣泛面向光通信、 數據中心、光量子計算、激光雷達、微波光子、生物傳感等應用領(lǐng)域。公司由中科院微電子所、中科芯未來(lái)微電子科技成都有限公司(中科微電子產(chǎn)業(yè)技術(shù)西南研究院)共同組建，位于成都市雙流區芯谷產(chǎn)業(yè)園。目前已為二百余家客戶(hù)提供技術(shù)服務(wù)，客戶(hù)包括頂級科研機構及行業(yè)龍頭企業(yè)，為我國硅光子技術(shù)研究和產(chǎn)品研發(fā)提供了有力的支持。

  【主要產(chǎn)品及服務(wù)】1.無(wú)源/有源MPW流片服務(wù)微電子所硅光平臺每年可對外提供6-8次基于130n m光刻的8英寸SOI的MPW流片服務(wù)，工藝模塊包括220 nm/150 nm/70 nm無(wú)源器件刻蝕工藝、高速調制器摻雜工藝、 TiN加熱電極工藝、鍺材料外延工藝、 硅和鍺的歐姆接觸及金屬層工藝等。采用標準工藝，將多個(gè)客戶(hù)的Block(8/16/32個(gè))在一個(gè)晶圓上進(jìn)行流片，降低成本。

  2.定制化流片服務(wù)針對硅光技術(shù)研發(fā)中材料和工藝的多樣性， 開(kāi)發(fā)了基于厚硅SOI、石英襯底、SiN材料的多種工藝模塊，可為客戶(hù)提供靈活的定制化技術(shù)服務(wù)。3.IP服務(wù)客戶(hù)可在硅光平臺對自主研發(fā)的硅光IP進(jìn)行工藝驗證， 公司提供IP運營(yíng)服務(wù)， 對外提供IP black box以及IP merge服務(wù)或IP code, 實(shí)現與IP研發(fā)客戶(hù)的合作共贏(yíng)。

      【優(yōu)勢】

        截止到2022年9月，已為290余家客戶(hù)提供了19批次MPW流片服務(wù)和90余次定制化流片服務(wù)，經(jīng)驗豐富。

        配置了商用級8/12英寸硅光晶圓測試系統、納米級光電芯片耦合測試系統，建立了全程可追溯的測試數據庫。

        實(shí)現與主流光子集成設計軟件集成。用戶(hù)可以在軟件中調用工具包， 利用平臺PDK提供的器件庫，便捷、靈活地進(jìn)行符合平臺規范的硅光芯片設計。

  聯(lián)系方式 

      流片注冊：Email: services@hopho.com.cn

  彭慧 市場(chǎng)BD Tel: 13668329586 Email: penghui@hopho.com.cn

      尚峪旭 市場(chǎng)BD Tel: 15204379789 Email: shangyuxu@hopho.com.cn