突破硅光領(lǐng)域，普萊信發(fā)布亞微米級固晶機DA403

  ICC訊  東莞普萊信智能發(fā)布亞微米級固晶機DA403，貼裝精度達到0.3μm@3σ，采用高精度光學(xué)多次校準，適用于8英吋及以下晶圓級封裝，廣泛應用于硅光、光器件、晶圓級封裝等亞微米級封裝領(lǐng)域，該設備打破國際廠(chǎng)商壟斷，實(shí)現亞微米級固晶設備的國產(chǎn)替代。

  亞微米級固晶機DA403

  硅光是一種基于硅光子學(xué)的低成本、高速的光通信技術(shù),用激光束代替電子信號傳輸數據,是將光學(xué)與電子元件組合至一個(gè)獨立的微芯片中,以提升路由器和交換機線(xiàn)卡之間芯片與芯片之間的連接速度。硅光子技術(shù)是基于硅和硅基襯底材料 (如 SiGe/Si、SOI 等)，利用現有 CMOS 工藝進(jìn)行光器件開(kāi)發(fā)和集成的新一代技術(shù)，結合了集成電路技術(shù)的超大規模、超高精度制造的特性和光子技術(shù)超高速率、超低功耗的優(yōu)勢。在硅基底上利用蝕刻工藝可以快速加工大規模波導器件，利用外延生長(cháng)等加工工藝制備調制器、接收器等關(guān)鍵器件，最終實(shí)現將調制器、接收器以及無(wú)源光學(xué)器件等集成，具有集成度高、成本低及傳輸性能更優(yōu)的特點(diǎn)。硅光技術(shù)將是實(shí)現大規模光子集成的最有效方案，在光通訊技術(shù)史上，無(wú)疑是一場(chǎng)里程碑式的技術(shù)變革，也是應對摩爾定律失效的顛覆性技術(shù)。

  但是由于材料晶格匹配的原因，激光光源的III-V族材料還是很難與硅基材料混合集成制造。光子集成一般是需要將III-V族光源芯片采用共晶方式正裝或倒裝工藝與硅波導進(jìn)行無(wú)源耦合封裝，而硅波導的模場(chǎng)直徑非常小，需要較大功率的激光光源以非常高的精度，通常是1微米左右的精度進(jìn)行貼片，才能保證將光源高效耦合進(jìn)硅波導中，而晶圓級的封裝必須是要在亞微米級別的封裝，這對封裝設備提出了更高的要求。普萊信智能推出的DA403，是國內唯一，全球極少數有能力將封裝精度做到亞微米級的產(chǎn)品，將為硅光技術(shù)在中國未來(lái)的發(fā)展打下堅實(shí)的設備基礎。

  據悉，普萊信成立于2017年，經(jīng)過(guò)4年的發(fā)展，已經(jīng)在多個(gè)領(lǐng)域打破國外技術(shù)壟斷，是國產(chǎn)半導體封裝設備領(lǐng)軍企業(yè)。目前為半導體封裝、光通信封裝、MiniLED巨量轉移、功率器件及第三代半導體封裝、先進(jìn)封裝等提供高端設備和智能化解決方案。在光通信封裝領(lǐng)域，普萊信已經(jīng)量產(chǎn)的高精密固晶機DA402，貼裝精度達到±3μm@3σ;普萊信的高精度無(wú)源耦合機，解決Lens貼裝有源耦合成本高、良率低等痛點(diǎn)，已獲得立訊、昂納、埃爾法等光通信行業(yè)客戶(hù)的認可。在半導體封裝領(lǐng)域，普萊信的8寸和12寸IC直線(xiàn)式超高速固晶機，覆蓋QFN、DFN、BGA、LGA、SiP等封裝形式，已獲得華天、甬矽、華潤微等封測巨頭的認可。在MiniLED巨量轉移領(lǐng)域，普萊信的超高速倒裝固晶設備XBonder，采用倒裝COB刺晶工藝，打破MiniLED產(chǎn)業(yè)的量產(chǎn)技術(shù)瓶頸。