三星電子開(kāi)發(fā)出透光率達88%的EUV薄膜

  ICC訊  三星電子在2021年在代工廠(chǎng)論壇上宣布自主研發(fā)EUV薄膜(pellicle)的消息，據悉，在2022年底三星電子完成透光率達88%的EUV薄膜產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，并可以大規模生產(chǎn)。

  消息指出，韓國的EUV薄膜一直被外部廠(chǎng)商壟斷，三星電子開(kāi)發(fā)EUV薄膜，是為應對未來(lái)的需求變化并實(shí)現供應多樣化，供應鏈多元化和穩定值得期待。業(yè)界預測，今年EUV薄膜的需求將比去年增加近2倍。消息表示，最早在1~2年內，韓國國產(chǎn)EUV薄膜將應用于商用化、量產(chǎn)生產(chǎn)線(xiàn)。

  根據此前消息，除了開(kāi)發(fā)自己的EUV薄膜外，三星電子還在推動(dòng)與國內主要材料公司的合作。據悉，三星電子將在其3nm工藝中采用透光率超過(guò)90%的最新EUV薄膜以提高良率，這些薄膜將來(lái)自韓國公司S&S Tech。

  S&S Tech在2021年生產(chǎn)成功開(kāi)發(fā)出了透光率達90%的半導體EUV薄膜，并宣布最早將于2023年上半年進(jìn)入透光率超過(guò)90%的EUV薄膜的批量生產(chǎn)。