應用分享｜對光學(xué)膜層進(jìn)行表征的前沿研究案例

  如果您的工作是和高反膜或抗反射膜的性能表征相關(guān)，那您一定知道它有多麻煩!但如果告訴您，有一鍵解決膜層表征的辦法，僅僅是輕擊鼠標就能得到膜層任意波長(cháng)的特性，并且精度還很高，您是否想嘗試一下?

  新一代的Glacier-C超連續光腔衰蕩反射儀正是為此而生。

  可測量到的鏡面反射率數值高達99.9995%

  常規的基于吸收和反射的測量方法靈敏度有限，難以準確表征如今的超反射涂層性能。這兩種方法測量的反射率極限的典型值<99.9%，對應著(zhù)光損耗>1000ppm。

  而腔衰蕩反射儀，例如超快創(chuàng )新公司(Ultrafast Innovations GmbH)新的Glacier-C產(chǎn)品，是通過(guò)探測光腔內的能量衰減來(lái)測量光損耗。由于光在腔內經(jīng)歷了多次的往返損耗，每次的損耗越小，光在腔內駐留的時(shí)間就越長(cháng)，最終能獲得足夠高的靈敏度。Glacier-C系統能測量到的樣品的光損耗在1000ppm到5ppm之間，對應的反射率為99.9%到99.9995%。

  測量450nm到2000nm范圍內任意波長(cháng)的膜層特性

  當前的反射儀大都是基于激光二極管的方式，其能提供的測試波長(cháng)受限于激光的輸出波長(cháng)，通常只能提供單波長(cháng)，雙波長(cháng)，或最多三波長(cháng)的測試。

  而Glacier-C產(chǎn)品能為您提供不受限制且特別靈活的波長(cháng)選擇，輕擊鼠標就可以在450nm到2000nm范圍內選擇任意波長(cháng)進(jìn)行測試，簡(jiǎn)單又高效。

  您肯定要問(wèn)了，這是如何實(shí)現的呢?其實(shí)，除了采用腔衰蕩技術(shù)，Glacier-C系統還使用了超連續譜白光光源和可調單色濾波器。超連續譜白光選擇的是NKT Photonics公司的SuperK Compact光源，可提供超寬的波長(cháng)范圍，同時(shí)搭配了Superk Select可調濾波器，對輸出光譜范圍內的任意波長(cháng)進(jìn)行選擇。

  這就為用戶(hù)提供了特別靈活的膜層表征能力。只需要一臺設備，就可以完成反射鏡和膜層在任意波長(cháng)上的特性表征。

  超快創(chuàng )新公司使用Glacier-C在940nm波長(cháng)測量到的某片鍍膜后的晶圓的反射率損耗曲線(xiàn)。該曲線(xiàn)數據是通過(guò)衰蕩腔加入樣品前后的損耗值做差得到的。這也證明了Glacier-C系統的強大，不僅能測量反射鏡的反射率，也能對其他表面，如晶圓或鍍有抗反射膜的光學(xué)器件進(jìn)行寬波段的表征。

  Glacier-C能輔助科研人員利用鍍膜設施簡(jiǎn)單高效的開(kāi)發(fā)并表征膜層質(zhì)量，監控鍍膜過(guò)程，設計反射鏡以及研究高反膜和低損耗抗反射膜的特性。

  助力公司生產(chǎn)和科學(xué)研發(fā)

  NKT超連續譜光纖激光器，該系列面向行業(yè)近二十年。產(chǎn)品性能穩定可靠，可替代多波長(cháng)激光器、低功率寬帶光源(比如ASE、SLED)，廣泛應用于顯微成像、熒光壽命分析、光學(xué)相干斷層成像、白光干涉、光譜分析等領(lǐng)域。

  技術(shù)參數

  重復頻率：78 – 2MHz(150 kHz或320MHz可選)

  光譜范圍：390-2400nm(UV拓展波段可選)

  總功率：6.5W(110mw等不同功率型號可選)

  觸發(fā)輸出抖動(dòng)：<20ps

  光束質(zhì)量M2：<1.1

  輸出光束：高斯，單模

  輸出選項：準直輸出

  該產(chǎn)品操作簡(jiǎn)單，免維護。豐富的濾波配件設計，可滿(mǎn)足單波長(cháng)輸出、多波長(cháng)同時(shí)輸出、寬帶輸出等不同應用需要!歡迎大家來(lái)電咨詢(xún)~