陜西先進(jìn)光子器件工程創(chuàng )新平臺全面啟用

  ICC訊 陜西光電子先導院先進(jìn)光子器件工程創(chuàng )新平臺在西安全面啟用。該平臺具備光子芯片制程中的光刻、刻蝕、蒸鍍等多項核心工藝，將為光子產(chǎn)業(yè)項目提供產(chǎn)品研發(fā)、中試、檢測等全流程技術(shù)服務(wù)，為光子產(chǎn)業(yè)各類(lèi)創(chuàng )新主體打通從產(chǎn)品研發(fā)到市場(chǎng)化批量供貨的完整鏈條。

  據了解，先進(jìn)光子器件工程創(chuàng )新平臺占地30畝，建有中試車(chē)間、中試大樓、綜合樓和動(dòng)力站等研發(fā)和中試配套設施，總建筑面積約30000平方米，潔凈廠(chǎng)房3000平方米，一期專(zhuān)業(yè)設備100余臺(套)，具備以GaAs(砷化鎵)、GaN(氮化鎵)為主線(xiàn)，圍繞6英寸化合物芯片工藝服務(wù)能力的柔性中試平臺，以技術(shù)服務(wù)與工程代工相結合的形式，為光子產(chǎn)業(yè)孵化項目提供產(chǎn)品研發(fā)、中試、檢測等全流程技術(shù)服務(wù)。

  此外，該創(chuàng )新平臺將有效解決第三代化合物半導體芯片制造的外延生長(cháng)與制程等關(guān)鍵問(wèn)題，為光電芯片、功率器件、射頻器件等芯片設計企業(yè)、高校、科研院所提供外延生長(cháng)、光刻、刻蝕、薄膜制備、清洗、減薄、拋光、劃片等芯片制造全流程服務(wù)。

  光電子先導院稱(chēng)，該平臺的啟用標志著(zhù)陜西向打造具有全球影響力的光子產(chǎn)業(yè)生態(tài)高地的戰略目標又邁出了堅實(shí)的一步，將吸引更多光子產(chǎn)業(yè)創(chuàng )新要素匯聚陜西，培育一批具有先發(fā)優(yōu)勢和全球競爭力的光子產(chǎn)業(yè)企業(yè)，推動(dòng)光子產(chǎn)業(yè)向集群化、規?；?、高產(chǎn)值化發(fā)展。目前，陜西光電子先導院已培育和聚集了近百家光子產(chǎn)業(yè)企業(yè)，入駐光電子領(lǐng)域企業(yè)30余家。