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【國內】上海光機所七項光科技項目近期通過(guò)驗收
訊石光通訊網(wǎng) 發(fā)布時(shí)間:2006/3/21 9:31:16 編者:ICCSZ
摘要：
我所承擔的上海市光科技項目，近期在上海市科委組織下陸續進(jìn)行了結題驗收，這些項目分別是： 1．精密光電
//210.72.9.5:8081/info_www/news/detailnewsb.asp?infoNo=5744"></A></FONT> </DIV>
我所承擔的上海市光科技項目，近期在上海市科委組織下陸續進(jìn)行了結題驗收，這些項目分別是：
1．精密光電測控研發(fā)中心程兆谷研究員負責的“硅片缺陷自動(dòng)檢測儀研制”項目。該項目組在傾斜入射激光掃描散射檢測技術(shù)，高效率大數值孔徑散射光收集和光電檢測技術(shù)，提高探測靈敏度和獲得高的新噪比關(guān)鍵技術(shù)等方面取得突破。研制成功了“硅片缺陷自動(dòng)檢測儀”樣機。該樣機的研制成功對于改變我國大規模集成電路專(zhuān)用檢測設備長(cháng)期依賴(lài)進(jìn)口局面，研制和開(kāi)發(fā)具有自主知識產(chǎn)權的國產(chǎn)化設備取得重要進(jìn)展。
2．光學(xué)薄膜技術(shù)研發(fā)中心張偉麗研究員負責的“全固態(tài)激光器薄膜的關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)”項目。該項目組在玻璃基底上成功的鍍制出符合課題指標要求的薄膜，在研發(fā)中心已有3臺專(zhuān)用于全固態(tài)激光器薄膜生產(chǎn)的專(zhuān)用鍍膜機群。
3．信息光學(xué)開(kāi)放研究實(shí)驗室瞿榮輝研究員負責的“大功率半導體泵浦激光器封裝技術(shù)及其產(chǎn)業(yè)化”項目。該項目組建成了大功率半導體激光器封裝技術(shù)平臺，在大功率半導體激光器封裝以及大功率測量等方面取得了成果，成功研制出了大功率半導體激光器BaR條、疊層組件、脈沖大功率半導體激光器等。
4．激光與光電子功能材料研發(fā)中心姜雄偉研究員負責的“超短脈沖激光誘導材料結構顯微改性的研究和應用探索”項目。該項目組研究了飛秒激光的各項參數、激光的掃描速度，以及不同倍率的聚焦鏡頭對不同形狀和尺寸微孔的激光加工特性的影響，并通過(guò)多次掃描的方法制成了微孔陣列。
5．高密度光存儲技術(shù)實(shí)驗室耿永友研究員負責的“可錄型高密度數字多用光盤(pán)（DVD-R）存儲材料和盤(pán)片產(chǎn)業(yè)化技術(shù)開(kāi)發(fā)”項目。該項目組在項目實(shí)施過(guò)程中建立了高密度可錄光盤(pán)材料研發(fā)中心（與上海飛凱光電材料有限公司共建），形成DVD－R染料研發(fā)中試線(xiàn)和高密度可錄光盤(pán)（DVD－R）盤(pán)片研發(fā)平臺。
6．先進(jìn)激光技術(shù)應用系統實(shí)驗室向世清副研究員負責的“基于光纖光柵的新型溫度/應力傳感器”項目。該項目組研制出了應力和溫度兩種光線(xiàn)光柵傳感器樣機，達到了系統功能、應變、溫度傳感指標，探索了該類(lèi)傳感器更符合實(shí)際的設計方式和應用規律，完成了多用途傳感元件的傳感機理、方法、設計結構和產(chǎn)業(yè)化方案的研究。樣機已具備產(chǎn)業(yè)化的前期基礎。
7．強場(chǎng)激光物理國家重點(diǎn)實(shí)驗室高鴻奕副研究員負責的“高精度大口徑光學(xué)波面測量技術(shù)”項目。該項目組在抗環(huán)境擾動(dòng)方面，設計并建立了一個(gè)以二級免充氣抗震平臺為主的測量環(huán)境，建立了一套高精度的光學(xué)波面測量裝置。
以上項目，均已圓滿(mǎn)完成計劃任務(wù)書(shū)規定的研究成果和考核指標，經(jīng)驗收委員會(huì )認定，一致同意通過(guò)驗收。（科研管理處供稿）</FONT></DIV>
1．精密光電測控研發(fā)中心程兆谷研究員負責的“硅片缺陷自動(dòng)檢測儀研制”項目。該項目組在傾斜入射激光掃描散射檢測技術(shù)，高效率大數值孔徑散射光收集和光電檢測技術(shù)，提高探測靈敏度和獲得高的新噪比關(guān)鍵技術(shù)等方面取得突破。研制成功了“硅片缺陷自動(dòng)檢測儀”樣機。該樣機的研制成功對于改變我國大規模集成電路專(zhuān)用檢測設備長(cháng)期依賴(lài)進(jìn)口局面，研制和開(kāi)發(fā)具有自主知識產(chǎn)權的國產(chǎn)化設備取得重要進(jìn)展。
2．光學(xué)薄膜技術(shù)研發(fā)中心張偉麗研究員負責的“全固態(tài)激光器薄膜的關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)”項目。該項目組在玻璃基底上成功的鍍制出符合課題指標要求的薄膜，在研發(fā)中心已有3臺專(zhuān)用于全固態(tài)激光器薄膜生產(chǎn)的專(zhuān)用鍍膜機群。
3．信息光學(xué)開(kāi)放研究實(shí)驗室瞿榮輝研究員負責的“大功率半導體泵浦激光器封裝技術(shù)及其產(chǎn)業(yè)化”項目。該項目組建成了大功率半導體激光器封裝技術(shù)平臺，在大功率半導體激光器封裝以及大功率測量等方面取得了成果，成功研制出了大功率半導體激光器BaR條、疊層組件、脈沖大功率半導體激光器等。
4．激光與光電子功能材料研發(fā)中心姜雄偉研究員負責的“超短脈沖激光誘導材料結構顯微改性的研究和應用探索”項目。該項目組研究了飛秒激光的各項參數、激光的掃描速度，以及不同倍率的聚焦鏡頭對不同形狀和尺寸微孔的激光加工特性的影響，并通過(guò)多次掃描的方法制成了微孔陣列。
5．高密度光存儲技術(shù)實(shí)驗室耿永友研究員負責的“可錄型高密度數字多用光盤(pán)（DVD-R）存儲材料和盤(pán)片產(chǎn)業(yè)化技術(shù)開(kāi)發(fā)”項目。該項目組在項目實(shí)施過(guò)程中建立了高密度可錄光盤(pán)材料研發(fā)中心（與上海飛凱光電材料有限公司共建），形成DVD－R染料研發(fā)中試線(xiàn)和高密度可錄光盤(pán)（DVD－R）盤(pán)片研發(fā)平臺。
6．先進(jìn)激光技術(shù)應用系統實(shí)驗室向世清副研究員負責的“基于光纖光柵的新型溫度/應力傳感器”項目。該項目組研制出了應力和溫度兩種光線(xiàn)光柵傳感器樣機，達到了系統功能、應變、溫度傳感指標，探索了該類(lèi)傳感器更符合實(shí)際的設計方式和應用規律，完成了多用途傳感元件的傳感機理、方法、設計結構和產(chǎn)業(yè)化方案的研究。樣機已具備產(chǎn)業(yè)化的前期基礎。
7．強場(chǎng)激光物理國家重點(diǎn)實(shí)驗室高鴻奕副研究員負責的“高精度大口徑光學(xué)波面測量技術(shù)”項目。該項目組在抗環(huán)境擾動(dòng)方面，設計并建立了一個(gè)以二級免充氣抗震平臺為主的測量環(huán)境，建立了一套高精度的光學(xué)波面測量裝置。
以上項目，均已圓滿(mǎn)完成計劃任務(wù)書(shū)規定的研究成果和考核指標，經(jīng)驗收委員會(huì )認定，一致同意通過(guò)驗收。（科研管理處供稿）</FONT></DIV>
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