光刻機工廠(chǎng)突發(fā)火災 ASML回應：損失評估還需幾天時(shí)間

  ICC訊  這一年多來(lái)，全球半導體產(chǎn)能緊張，臺積電等芯片制造公司也在積極擴大產(chǎn)能，光刻機之類(lèi)的設備很搶手，在這個(gè)關(guān)鍵時(shí)刻，全球光刻機一哥ASML的工廠(chǎng)發(fā)生火災，目前損失還在評估中。

  據報道，ASML公司在德國柏林的工廠(chǎng)突然發(fā)生了火災，目前可以確認沒(méi)有人員傷亡，但具體的損失情況還不確定。

  ASML公司在給媒體發(fā)布的聲明中指出，評估損失需要幾天時(shí)間，現在就提出是否影響今年業(yè)績(jì)或者就損害索賠等問(wèn)題還為時(shí)尚早。

  起火的公司前身是Berliner Glas，ASML公司2020年才收購了這家公司，后者主要為ASML光刻機制造光學(xué)系統，這是光刻機的三大核心部件之一。

  2021年10月底，ASML發(fā)布了Q3財報，凈銷(xiāo)售額52億歐元(約合386億元)，毛利率51.7%，凈利潤17億歐元(約合126億元)。官方預計四季度銷(xiāo)售額49億到52億歐元，毛利率在51%到52%。

  ASML稱(chēng)，三季度，EUV光刻機系統的訂單量達到了29億歐元，且當季的出貨量和收入創(chuàng )下歷史新高。目前，ASML主力EUV光刻機是TWINSCAN NXE:3600D，其在客戶(hù)那里也達到了每小時(shí)加工160片晶圓的創(chuàng )紀錄效率。

  DUV(深紫外)光刻機方面，完成出貨1000臺ArF(氟化氬浸沒(méi)式光刻系統)，這距離第一臺浸沒(méi)式光刻機(XT:1700Fi)出貨過(guò)去了15年。