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新品發(fā)布 | 聯(lián)訊儀器高壓低漏電開(kāi)關(guān)矩陣RM1013-HV,滿(mǎn)足功率半導體參數測試應用!

摘要:聯(lián)訊儀器推出的RM1013-HV開(kāi)關(guān)矩陣,支持3000V高壓、小于300pA漏電測量,適用于功率半導體參數測試,具有高靈活性、快速測量和長(cháng)壽命等特點(diǎn)。

  ICC訊 隨著(zhù)人工智能、新能源汽車(chē)、物聯(lián)網(wǎng)等新興領(lǐng)域的蓬勃推進(jìn),寬禁帶半導體材料——尤其是碳化硅(SiC)與氮化鎵(GaN)——憑借其卓越性能迎來(lái)了迅猛的發(fā)展勢頭。為了深入剖析并精確測量這些先進(jìn)器件的各項參數及特性,進(jìn)而提升其效率與可靠性,聯(lián)訊儀器最新推出了10x24高壓低漏電開(kāi)關(guān)矩陣——RM1013-HV,能夠在小于300pA的偏置電流滿(mǎn)足3000V高壓測量,完成各種高精度的半導體表征測試。

  01,高精度自動(dòng)測量

  聯(lián)訊儀器最新推出了10x24高壓低漏電開(kāi)關(guān)矩陣——RM1013-HV,能夠在小于300pA的偏置電流滿(mǎn)足3000V高壓測量,可配合高精度SMU完成各種功率半導體的表征測試。

▲RM1013-HV高壓低泄漏開(kāi)關(guān)矩陣框圖 

  多路高壓靈活測量

  支持2路高壓低泄漏電流通道輸入,整機支持10路輸入和24路輸出,提高參數測量的靈活性,節省成本和時(shí)間,可配合HVSMU/SMU/CMU/DMM等測量設備實(shí)現一套高效的半導體參數自動(dòng)測試系統。

  高壓低泄漏電流

  矩陣低泄漏電流小于300pA@3000V(高壓低泄漏電流通道),可配合高精度的SMU (如S3030F等)實(shí)現高精度自動(dòng)測量。

  支持快速測量

  開(kāi)關(guān)矩陣電流建立時(shí)間小于10秒(1V電壓輸入開(kāi)始到電流<300fA的時(shí)間),可配合SMU (如S3030F,S2016C等)實(shí)現微弱電流信號的快速測量。

  高繼電器觸點(diǎn)壽命

  開(kāi)關(guān)矩陣使用世界一流的干簧管制作的繼電器,機械壽命最高可達10^8次。

  10MHz帶寬

  開(kāi)關(guān)矩陣優(yōu)化了C-V和DMM通道的傳輸帶寬,滿(mǎn)足高速測試的需求。

  控制連接

  支持通過(guò)USB線(xiàn)纜或LAN直接連接至RM1013-HV,實(shí)現通道閉合斷開(kāi)的控制

  可以通過(guò)編程(SCPI 指令)或GUI界面控制。界面GUI非常直觀(guān)和簡(jiǎn)潔,可輕松配置通道的閉合、斷開(kāi)進(jìn)行測量。


▲矩陣控制軟件GUI

  02,通道配置

  03,典型應用場(chǎng)景

  功率半導體參數測試

  使用高壓低漏電開(kāi)關(guān)矩陣可以與源表/高壓源表/LCR meter/數字萬(wàn)用表等儀表無(wú)縫集成,組成強大的功率器件I-V、C-V參數自動(dòng)化測試系統??梢愿咝y量MOSFET/IGBT/BJT/Diode/電容/電阻等器件的I-V、C-V各項特征參數,例如MOSFET 的BVdss、Off-leak/Id(off)-Vds、 Id-Vds等。不同器件及不同測量項目之間通過(guò)編程控制自動(dòng)進(jìn)行連接路徑切換,一站式完成測量。

▲矩陣路徑切換示意圖

  在半導體功率器件測試中通常需要測量Ciss/Coss/Crss等高壓電容參數。高壓電容測量與I-V測量之間的路徑切換一直是測試中的難點(diǎn),高壓切換矩陣中內置了可切換的高壓電容測量偏置電路(HV Bias Tee),可以有效地解決這個(gè)問(wèn)題。

▲SiC MOSFET 電容特性


▲電容等效模型

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